반도체 장비 - 전공정

반도체 장비란 반도체 회로설계, 실리콘웨이퍼 제조 등 반도체 제조를 위한 준비 단계에서부터 웨이퍼 가공, 칩 제조, 조립 및 검사의 단계에까지 모든 장비를 포괄하는 개념을 말합니다.

반도체 공정은 크게 웨이퍼를 가공하여 칩을 만드는 전(前)공정과 만들어진 칩을 조립하고 검사하는 후(後)공정으로 나눌 수 있으며 반도체 장비의 구분은 공정에 따라 웨이퍼 공정인 전공정 장비, 칩에 배선을 씌워 안정성 있는 제품을 만드는 조립장비, 성능을 시험하는 검사장비, 가스를 공급하거나 웨이퍼를 건조시키고 옮기는 등 각각의 칩 제조공정을 돕는 관련장비 등으로 구분할 수 있습니다.

일반적으로 전공정 장비는 실리콘 웨이퍼를 가공하여 칩을 만드는 과정에서 사용되는 장비로, 우리나라의 경우 수입의존도가 높으며 전제 장비시장의 약 70% 정도를 차지하고 있습니다. 관련 장비는 Expose M/C, Photo Resist M/C, 산화, 확산 처리장비, 불순물 주입장비, CVD, PVD, 평탄화 장비, 세정·건조장비, Wafer 검사장비 등이 있습니다.

전공정이 후공정에 비해 공정 단계가 많은 만큼 난이도가 높고, 시장 규모도 큰 편입니다.